Наукова електронна бібліотека
періодичних видань НАН України
періодичних видань НАН України
Источник ионов для установки ионно-стимулированного осаждения покрытий АРГО-2
Репозиторій DSpace/Manakin
JavaScript is disabled for your browser. Some features of this site may not work without it.
| dc.contributor.author | Марченко, Ю.А. | |
| dc.contributor.author | Перун, Н.В. | |
| dc.contributor.author | Сасса, И.В. | |
| dc.contributor.author | Ванжа, А.Ф. | |
| dc.date.accessioned | 2011-01-31T12:06:17Z | |
| dc.date.available | 2011-01-31T12:06:17Z | |
| dc.date.issued | 2010 | |
| dc.identifier.citation | Источник ионов для установки ионно-стимулированного осаждения покрытий АРГО-2 / Ю.А. Марченко, Н.В. Перун, И.В. Сасса, А.Ф. Ванжа // Вопросы атомной науки и техники. — 2010. — № 1. — С. 157-160. — Бібліогр.: 4 назв. — рос. | uk_UA |
| dc.identifier.issn | 1562-6016 | |
| dc.identifier.uri | http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/15671 | |
| dc.description.abstract | Описаны конструкция и особенности плазменного разряда источника ионов с подогреваемым катодом, предназначенного для использования на технологической установке ионно-стимулированного осаждения покрытий АРГО-2. Приведены зависимости тока пучка от параметров разряда. | uk_UA |
| dc.description.abstract | Описано конструкція та особливості плазмового розряду джерела іонів з катодом, що підігрівається, який призначено для використання на технологічній установці іонно-стимулюючого осадження покриттів АРГО-2. Приведені залежності струму пучка від параметрів розряду. | uk_UA |
| dc.description.abstract | Construction and structural features of plasma discharge of ions source with heated cathode is described. This source intended is used in technological plant ARGO-2 for the ion-stimulated deposition of coatings. Dependences of beam current on the discharge parameters are presented. | uk_UA |
| dc.language.iso | ru | uk_UA |
| dc.publisher | Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України | uk_UA |
| dc.subject | Диагностика и методы исследований | uk_UA |
| dc.title | Источник ионов для установки ионно-стимулированного осаждения покрытий АРГО-2 | uk_UA |
| dc.title.alternative | Джерело іонів для установки іонно-стимулюючого осадження покриттів АРГО-2 | uk_UA |
| dc.title.alternative | Ions source for plan ARGO-2 for the ion-stimulated deposition of coatings | uk_UA |
| dc.type | Article | uk_UA |
| dc.status | published earlier | uk_UA |
| dc.identifier.udc | 621.384.6:620.198 |
