Технологія корекції неплощиності поверхні лінійної напрямної

Abstract

У статті наведено результати теоретичних і прикладних досліджень системного синтезу конструкції суперпрецизійної лінійної напрямної. Зокрема, розглянуто питання корекції неплощинності поверхні лінійної напрямної. Запропоновано алгоритм корекції положення поля датчиків по висоті зазора та спосіб корекції неплощинності поверхні рухомого елемента несучої опори лінійної напрямної.

В статье представлены результаты теоретических и прикладных исследований системного синтеза конструкции суперпрецизионной линейной направляющей. В частности, рассмотрены вопросы коррекции неплоскостности поверхности линейной направляющей. Предложены алгоритм коррекции положения поля датчиков по высоте зазора и способ коррекции неплоскостности поверхности подвижного элемента несущей опоры линейной направляющей.

The results of theoretical and applied research of the system synthesis of highly-precise linear motion guide are presented in the paper. Questions of surface flatness correction of a linear guide are reviewed. There are also proposed the correction algorithm of field position sensors on the clearance height and the method for correcting the surface flatness of the movable bearing support element linear guide.