Влияние режимов осаждения на фазово-структурное состояние, твердость и трибологические характеристики вакуумно-дуговых многослойных покрытий Mo₂N/CrN

Abstract

Для вакуумно-дуговых многослойных Mo₂N/CrN-систем с нанометровой толщиной слоев проведено комплексное исследование влияния технологических параметров, ответственных за энергетическое состояние осаждаемых частиц, на элементный и структурно-фазовый составы, твердость и трибологические характеристики формируемых покрытий. Установлено образование двух структурно-фазовых типов в совмещенных нитридных слоях: γ-Mo₂N/CrN с изоструктурными кубическими кристаллическими решетками и γ-Mo₂N/β-Cr₂N с неизоструктурными кубической и гексагональной решетками.

Для вакуумно-дугових багатошарових Mo₂N/CrM-систем з нанометровою товщиною шарів проведено комплексне дослідження впливу технологічних параметрів, відповідальних за енергетичний стан частинок, що осаджували, на елементний і структурно-фазовий склади, твердість і трибологічні характеристики формованих покриттів. Встановлено утворення двох структурно-фазових типів в суміщених нітридних шарах: γ-Mo₂N/CrN з ізоструктурними кубічними кристалічними ґратками і γ-Mo₂N/β-Cr₂N з неізоструктурними кубічною і гексагональною ґратками.

A complex study has been performed of the effect of the technological parameters, which are responsible for the energy states of deposited particles, on the elemental, phase and structure compositions, hardness, and tribological characteristics of formed vacuum–arc multilayer Mo₂N/CrN systems with a nanometric thickness. The formation of two phase and structure types has been defined in combined nitride layers: γ-Mo₂N/CrN with the isostructural cubic crystalline lattices and γ-Mo₂N/CrN with non-isostructural cubic and hexagonal lattices.