Наукова електронна бібліотека
періодичних видань НАН України

Многоканальный лазерный генератор изображений ЭМ-5089В

Репозиторій DSpace/Manakin

Показати простий запис статті

dc.date.accessioned 2018-07-15T11:18:56Z
dc.date.available 2018-07-15T11:18:56Z
dc.date.issued 1998
dc.identifier.citation Многоканальный лазерный генератор изображений ЭМ-5089В // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 1998. — № 3-4. — С. 61. — рос. uk_UA
dc.identifier.issn 2225-5818
dc.identifier.uri http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/140773
dc.description.abstract Предназначен для экспонирования металлизированных фотошаблонов (ФШ). Осуществляет формирование слоя ФШ за время, не зависящее от сложности его описания. Оснащен системой совмещения, позволяющей производить экспонирование в режиме двойного маскирования. Работает по принципу растровой развертки луча лазера с помощью электрооптического устройства. uk_UA
dc.language.iso ru uk_UA
dc.publisher Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України uk_UA
dc.relation.ispartof Технология и конструирование в электронной аппаратуре
dc.subject Научно-промышленные центры СНГ uk_UA
dc.title Многоканальный лазерный генератор изображений ЭМ-5089В uk_UA
dc.type Article uk_UA
dc.status published earlier uk_UA


Файли у цій статті

Ця стаття з'являється у наступних колекціях

Показати простий запис статті

Пошук


Розширений пошук

Перегляд

Мій обліковий запис