Многоканальный лазерный генератор изображений ЭМ-5089В

dc.date.accessioned	2018-07-15T11:18:56Z
dc.date.available	2018-07-15T11:18:56Z
dc.date.issued	1998
dc.identifier.citation	Многоканальный лазерный генератор изображений ЭМ-5089В // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 1998. — № 3-4. — С. 61. — рос.	uk_UA
dc.identifier.issn	2225-5818
dc.identifier.uri	http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/140773
dc.description.abstract	Предназначен для экспонирования металлизированных фотошаблонов (ФШ). Осуществляет формирование слоя ФШ за время, не зависящее от сложности его описания. Оснащен системой совмещения, позволяющей производить экспонирование в режиме двойного маскирования. Работает по принципу растровой развертки луча лазера с помощью электрооптического устройства.	uk_UA
dc.language.iso	ru	uk_UA
dc.publisher	Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України	uk_UA
dc.relation.ispartof	Технология и конструирование в электронной аппаратуре
dc.subject	Научно-промышленные центры СНГ	uk_UA
dc.title	Многоканальный лазерный генератор изображений ЭМ-5089В	uk_UA
dc.type	Article	uk_UA
dc.status	published earlier	uk_UA