Касимов Ф.Д.
(Технология и конструирование в электронной аппаратуре, 2003)
Показано, что одновременное выращивание локальных пленок поли- и монокристаллического кремния легло в основу развития микроэлектронной негатроники - нового направления функциональной электроники. Сочетание в едином кристалле ...