Наукова електронна бібліотека
періодичних видань НАН України

Structural transformation in Zr/Mg multilayer on Si substrate after annealing

Репозиторій DSpace/Manakin

Показати простий запис статті

dc.contributor.author Konotopsky, L.E.
dc.contributor.author Kopilets, I.A.
dc.contributor.author Kosmachev, S.M.
dc.contributor.author Kondratenko, V.V.
dc.date.accessioned 2018-06-17T09:35:20Z
dc.date.available 2018-06-17T09:35:20Z
dc.date.issued 2017
dc.identifier.citation Structural transformation in Zr/Mg multilayer on Si substrate after annealing / L.E. Konotopsky, I.A. Kopilets, S.M. Kosmachev, V.V. Kondratenko // Вопросы атомной науки и техники. — 2017. — № 6. — С. 39-42. — Бібліогр.: 19 назв. — англ. uk_UA
dc.identifier.issn 1562-6016
dc.identifier.other PACS: 07.85.FV, 61.05.CM, 61.05.CF, 68.65.AC
dc.identifier.uri http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/137265
dc.description.abstract A Zr/Mg periodic multilayer was deposited onto silicon substrate by DC magnetron sputtering. Study of the Zr/Mg multilayer structure in an initial state and after thermal annealing in a temperature range of 100...600 °C was made by the X-ray diffraction and cross-section transmission electron microscopy methods. It was shown that Zr/Mg multilayers are stable up to 400 °C. Further heating to 500 °C leads to decreasing of the number of the operable periods due to the zirconium and magnesium layers interaction with the silicon substrate. Annealing at 550 °C leads to multilayer periodicity destructing. uk_UA
dc.description.abstract Рентгенографічними і електронно-мікроскопічними методами досліджено багатошарове рентгенівське дзеркало (БПК) Zr/Mg у вихідному стані та після відпалу (100…600 °С). БПК Zr/Mg на кремнієвій підкладці було виготовлено методом прямоточного магнетронного розпилення. Показано, що структура рентгенівського дзеркала зберігається незмінною при відпалі до 400 °С. Подальший нагрів до 500 °С супроводжується зниженням числа робочих періодів за рахунок взаємодії шарів цирконію і магнію з кремнієвої підкладкою. Відпал при 550 °C призводить до руйнування періодичної структури в БПК. uk_UA
dc.description.abstract Рентгенографическими и электронно-микроскопическими методами исследовано многослойное рентгеновское зеркало (МРЗ) Zr/Mg в исходном состоянии и после отжига (100…600 °С). МРЗ Zr/Mg на кремниевой подложке было изготовлено методом прямоточного магнетронного распыления. Показано, что структура рентгеновского зеркала сохраняется неизменной при отжиге вплоть до 400 °С. Дальнейший нагрев до 500 °С сопровождается снижением числа рабочих периодов за счет взаимодействия слоев циркония и магния с кремниевой подложкой. Отжиг при 550 °C приводит к разрушению периодической структуры в МРЗ. uk_UA
dc.language.iso en uk_UA
dc.publisher Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України uk_UA
dc.relation.ispartof Вопросы атомной науки и техники
dc.subject Чистые материалы и вакуумные технологии uk_UA
dc.title Structural transformation in Zr/Mg multilayer on Si substrate after annealing uk_UA
dc.title.alternative Структурно-фазові перетворення у багатошарових рентгенівських дзеркалах Zr/Mg на кремнієвій підкладці uk_UA
dc.title.alternative Структурно-фазовые превращения в многослойных рентгеновских зеркалах Zr/Mg на кремниевой подложке при отжиге uk_UA
dc.type Article uk_UA
dc.status published earlier uk_UA


Файли у цій статті

Ця стаття з'являється у наступних колекціях

Показати простий запис статті

Пошук


Розширений пошук

Перегляд

Мій обліковий запис