Наукова електронна бібліотека
періодичних видань НАН України

The effect of the substrate potential during deposition on the structure and properties of the binanolayer multiperiod composites (TiAlSi)N/MeN (Me – Zr, Nb, Cr, Mo)

Репозиторій DSpace/Manakin

Показати простий запис статті

dc.contributor.author Sobol’, O.V.
dc.contributor.author Andreev, A.A.
dc.contributor.author Mygushchenko, R.P.
dc.contributor.author Stolbovoy, V.A.
dc.contributor.author Postelnуk, A.A.
dc.contributor.author Meylekhov, A.A.
dc.contributor.author Dolomanov, A.V.
dc.contributor.author Rebrova, Ye.M.
dc.date.accessioned 2018-06-16T18:44:39Z
dc.date.available 2018-06-16T18:44:39Z
dc.date.issued 2018
dc.identifier.citation The effect of the substrate potential during deposition on the structure and properties of the binanolayer multiperiod composites (TiAlSi)N/MeN (Me – Zr, Nb, Cr, Mo) / O.V. Sobol’, A.A. Andreev, R.P. Mygushchenko, V.A. Stolbovoy, A.A. Postelnуk, A.A. Meylekhov, A.V. Dolomanov, Ye.M. Rebrova // Вопросы атомной науки и техники. — 2018. — № 1. — С. 173-180. — Бібліогр.: 37 назв. — англ. uk_UA
dc.identifier.issn 1562-6016
dc.identifier.other PACS: 81.07.Bc, 61.05.сp, 68.55.jm, 61.82.Rx
dc.identifier.uri http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/137010
dc.description.abstract It is proposed to use the multiperiod binanolayer composites (TiAlSi)N/MeN (Me-Zr, Nb, Cr, Mo) for controlling the structure, stress state and mechanical properties of a multi-element nitride (TiAlSi)N. The deposition of the layers was carried out by the method of vacuum-arc evaporation at different bias potentials on the substrate Uₕ = -110 and -200 V. It has been determined that mononitrides with a high Me-N binding energy in the binanolayer composite determine the crystallite growth in thin (nanometer) layers. The growth texture is formed in composites containing mononitrides based on transition metals with a relatively small atomic mass (Cr, Mo) at Uₕ = -110 V. The growth texture is formed at a larger Ub = -200 V when dealing with mononitride based on heavy metal (Zr). The greatest hardness is achieved in textured materials deposited at Uₕ = -200 V. This is typical both for a monolayer multi-element nitride (TiAlSi)N (hardness is 42.5 GPa) and for multiperiod nanolayer composites based on it (the highest hardness is 47.9 GPa for a composite (TiAlSi)N/ZrN). uk_UA
dc.description.abstract Запропоновано використовувати багатоперіодні бінаношарові композити систем (TiAlSi)N/MeN (Me – Zr, Nb, Cr, Mo) для управління структурою, напруженим станом і механічними властивостями багатоелементного нітриду (TiAlSi)N. Осадження шарів здійснювалося методом вакуумно-дугового випаровування при різних потенціалах зміщення на підкладці Uₕ = -110 і -200 В. Встановлено, що в бінаношаровому композиті мононітриди з великою енергією зв'язку Me–N задають переважну орієнтацію росту кристалітів у тонких (нанометрових) шарах. При Uₕ = -110 В текстура зростання формується в композитах, які містять мононітриди на основі перехідних металів з відносно невеликою атомною масою (Cr, Mo). У разі мононітриду на основі важкого металу (Zr) текстура утворюється при більшому Uₕ = -200 В. Найбільша твердість досягається в текстурованих матеріалах, осаджених при Uₕ = -200 В. Це характерно, як для моношарового багатоелементного нітриду (TiAlSi)N (досягнута твердість 42,5 ГПа), так і для багатоперіодних наношарових композитів на його основі (найбільша твердість 47,9 ГПа отримана для композиту (TiAlSi)N/ZrN). uk_UA
dc.description.abstract Предложено использовать многопериодные бинанослойные композиты систем (TiAlSi)N/MeN (Me – Zr, Nb, Cr, Mo) для управления структурой, напряженным состоянием и механическими свойствами многоэлементного нитрида (TiAlSi)N. Осаждение слоев осуществлялось методом вакуумно-дугового испарения при разных потенциалах смещения на подложке Uₕ = -110 и -200 В. Установлено, что в бинанослойном композите мононитриды с большой энергией связи Me–N задают преимущественную ориентацию роста кристаллитов в тонких (нанометровых) слоях. При Uₕ = -110 В текстура роста формируется в композитах, содержащих мононитриды на основе переходных металлов с относительно небольшой атомной массой (Cr, Mo). В случае мононитрида на основе тяжелого металла (Zr) текстура образуется при большем Uₕ = -200 В. Наибольшая твердость достигается в текстурированных материалах, осажденных при Uₕ = -200 В. Это характерно как для монослойного многоэлементного нитрида (TiAlSi)N (достигнута твердость 42,5 ГПа), так и для многопериодных нанослойных композитов на его основе (наибольшая твердость 47,9 ГПа получена для композита (TiAlSi)N/ZrN). uk_UA
dc.language.iso en uk_UA
dc.publisher Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України uk_UA
dc.relation.ispartof Вопросы атомной науки и техники
dc.subject Физика и технология конструкционных материалов uk_UA
dc.title The effect of the substrate potential during deposition on the structure and properties of the binanolayer multiperiod composites (TiAlSi)N/MeN (Me – Zr, Nb, Cr, Mo) uk_UA
dc.title.alternative Вплив потенціалу підкладки при осадженні на структуру і властивості бінаношарових багатоперіодних композитів (TiAlSi)N/MeN (Me – Zr, Nb, Cr, Mo) uk_UA
dc.title.alternative Влияние потенциала подложки при осаждении на структуру и свойства бинанослойных многопериодных композитов (TiAlSi)N/MeN (Me – Zr, Nb, Cr, Mo) uk_UA
dc.type Article uk_UA
dc.status published earlier uk_UA


Файли у цій статті

Ця стаття з'являється у наступних колекціях

Показати простий запис статті

Пошук


Розширений пошук

Перегляд

Мій обліковий запис