Элементный анализ аморфных углеродных пленок

dc.contributor.author	Куцай, А.М.
dc.date.accessioned	2018-06-14T15:08:06Z
dc.date.available	2018-06-14T15:08:06Z
dc.date.issued	2007
dc.identifier.citation	Элементный анализ аморфных углеродных пленок / А.М. Куцай // Породоразрушающий и металлообрабатывающий инструмент – техника и технология его изготовления и применения: Сб. науч. тр. — К.: ІНМ ім. В.М. Бакуля НАН України, 2007. — Вип. 10. — С. 270-273. — Бібліогр.: 7 назв. — рос.	uk_UA
dc.identifier.issn	2223-3938
dc.identifier.uri	http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/135090
dc.description.abstract	The elemental analysis of amorphous carbon film produce in focus on the diamond-like type by the low temperature chemical vapour deposition and physical vapour deposition have been presented. The amorphous carbon films proposed as protective, wear-resistive, anti-reflective, chemical inert and biocompatible coatings for the application in optics, electronics, machine-building and medicine by the complex investigation of the film structural and physical properties.	uk_UA
dc.language.iso	ru	uk_UA
dc.publisher	Інститут надтвердих матеріалів ім. В.М. Бакуля НАН України	uk_UA
dc.relation.ispartof	Породоразрушающий и металлообрабатывающий инструмент – техника и технология его изготовления и применения
dc.subject	Синтез, спекание и свойства сверхтвердых материалов	uk_UA
dc.title	Элементный анализ аморфных углеродных пленок	uk_UA
dc.type	Article	uk_UA
dc.status	published earlier	uk_UA
dc.identifier.udc	621.793:546.26