Дурягіна, З.А.; Підкова, В.Я.
(Фізико-хімічна механіка матеріалів, 2013)
З використанням іонно-плазмової розрядної системи одержано діелектричні шари
нітриду алюмінію, що мають нанорозмірну структуру. Товщина шарів коливається
від 35 до 50 μm при розмірі зерен 60…400 nm. Шорсткість поверхні ...