Гладковский, В.В.; Федорович, О.А.
(Технология и конструирование в электронной аппаратуре, 2017)
Представлены результаты исследования влияния количества кислорода в смеси с гексафторидом серы на скорость и анизотропию травления кремния в плазмохимическом реакторе с управляемым магнитным полем. Процесс травления проходил ...