Олиховский, С.Й.; Белова, М.М.; Кочелаб, Е.В.
(Успехи физики металлов, 2006)
В обзоре описаны основные результаты многочисленных прямых наблюдений образования микродефектов (преципитатов кислорода и дислокационных петель) в кристалле кремния при его выращивании и термообработках. Кратко изложены ...