Филатов, Ю.Д.; Ветров, А.Г.; Сидорко, В.И.; Филатов, А.Ю.; Ковалев, С.В.
(Сверхтвердые материалы, 2013)
В результате исследований закономерностей финишной алмазно-абразивной обработки монокристаллического карбида кремния на основе обобщенной модели образования и удаления частиц шлама и съема обрабатываемого материала показано, ...