Микроэлектромеханические системы в медицине

dc.contributor.author	Шоффа, В.Н.
dc.contributor.author	Бандорина, Е.Г.
dc.date.accessioned	2017-11-09T16:55:32Z
dc.date.available	2017-11-09T16:55:32Z
dc.date.issued	2016
dc.identifier.citation	Микроэлектромеханические системы в медицине / В.Н. Шоффа, Е.Г. Бандорина // Электрические контакты и электроды. — К.: ИПМ НАН України, 2016. — С. 13-22. — Бібліогр.: 16 назв. — рос.	uk_UA
dc.identifier.issn	2311-0627
dc.identifier.uri	http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/125929
dc.description.abstract	Представлен обзор МЭМС и биоМЭМС, областей их применения, конструкций, разработок микрозеркал, а также результаты аналитического расчета и расчета в программе Comsol Multiphysics микрозеркала с тепловым приводом.	uk_UA
dc.description.abstract	Представлено огляд МЕМС і біоМЕМС, областей їх застосування, конструкцій, розробок мікродзеркал, а також результати аналітичного розрахунку і розрахунку в програмі COMSOL Multiphysics мікродзеркала з тепловим приводом.	uk_UA
dc.description.abstract	An overview of MEMS and bioMEMS, their applications, designs, development of micromirrors, and the results of analytical calculation and calculation in the program COMSOL Multiphysics,micromirror with thermal actuatoris given.	uk_UA
dc.language.iso	ru	uk_UA
dc.publisher	Інститут проблем матеріалознавства ім. І.М. Францевича НАН України	uk_UA
dc.relation.ispartof	Электрические контакты и электроды
dc.title	Микроэлектромеханические системы в медицине	uk_UA
dc.title.alternative	Мікроелектромеханічні системи в медицині	uk_UA
dc.title.alternative	Microelectromechanical sistems in medicine	uk_UA
dc.type	Article	uk_UA
dc.status	published earlier	uk_UA
dc.identifier.udc	621.313:621.336