Кінетика диспергування-коагулювання при відпалі у вакуумі наноплівок паладію та платини, нанесених на оксидні та неоксидні матеріали

Abstract

Досліджено кінетику диспергування паладієвих та платинових наноплівок 100 нм завтовшки, нанесених на оксидні та неоксидні підкладки (кварцове скло, лейкосапфір, кераміку на основі ZrO₂, скловуглець) та відпалених у вакуумі за температур 1000—1600 °С впродовж різного часу витримки при кожній температурі. Побудовано кінетичні криві процесу.

Исследована кинетика диспергирования палладиевых и платиновых нанопленок толщиной 100 нм, нанесенных на оксидные и неоксидные подложки (кварцевое стекло, лейкосапфир, керамику на основе ZrO₂, стеклоуглерод) и отожженных в вакууме при температурах 1000—1600 °С в течение различного времени выдержки при каждой температуре. Построены кинетические кривые процесса диспергирования этих пленок и приведены рекомендации относительно их практического применения.

The disperse kinetics of palladium and platinum nanofilms of 100 nm thickness deposited onto oxide and nonoxide substrates (quartz glass, leucosapphire, ceramics based on ZrO₂, carbon glass) and annealed in vacuum at 1000—1600 °C for different exposure time at each temperature. Kinetic curves dispersion process of these films have been made and recommendations for practical application of them have been made also.