Фодчук, И.М.; Роман, Ю.Т.; Баловсяк, С.В.
(Металлофизика и новейшие технологии, 2017)
Проведены рентгеновские структурные исследования тонких плёнок TiN, полученных методом реактивного магнетронного распыления. Для уменьшения влияния высокочастотного шума и неоднородной фоновой интенсивности на форму ...