Установка ремонта топологии на фотошаблонах ЭМ-5001АМ

dc.date.accessioned	2017-07-17T14:57:28Z
dc.date.available	2017-07-17T14:57:28Z
dc.date.issued	1999
dc.identifier.citation	Установка ремонта топологии на фотошаблонах ЭМ-5001АМ // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 1999. — № 1. — С. 38. — рос.	uk_UA
dc.identifier.issn	2225-5818
dc.identifier.uri	http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/122692
dc.description.abstract	Предназначена для ремонта и устранения дефектов фотошаблонов, используемых в производстве ИС, ГИС и полупроводниковых приборов. Устранение непрозрачных дефектов осуществляется путем воздействия сфокусированного лазерного излучения на маскирующее покрытие фотошаблона, устранение прозрачных дефектов — путем лазерно-стимулированного осаждения металлоорганического соединения.	uk_UA
dc.language.iso	ru	uk_UA
dc.publisher	Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України	uk_UA
dc.relation.ispartof	Технология и конструирование в электронной аппаратуре
dc.subject	Научно-промышленные центры СНГ	uk_UA
dc.title	Установка ремонта топологии на фотошаблонах ЭМ-5001АМ	uk_UA
dc.type	Article	uk_UA
dc.status	published earlier	uk_UA