Наукова електронна бібліотека
періодичних видань НАН України

The forming system simulation for reactive gas ion source with decreased neutral gas inleakage

Репозиторій DSpace/Manakin

Показати простий запис статті

dc.contributor.author Martynenko, P.A.
dc.date.accessioned 2017-06-28T05:40:19Z
dc.date.available 2017-06-28T05:40:19Z
dc.date.issued 2017
dc.identifier.citation The forming system simulation for reactive gas ion source with decreased neutral gas inleakage / P.A. Martynenko // Вопросы атомной науки и техники. — 2017. — № 1. — С. 152-154. — Бібліогр.: 5 назв. — англ. uk_UA
dc.identifier.issn 1562-6016
dc.identifier.other PACS: 29.25.Ni
dc.identifier.uri http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/122159
dc.description.abstract This report is devoted to research of possibility of acceleration N ions with original system of ions extraction and acceleration. The simulations of its electrode geometry for nitrogen ions acceleration are described. The parameters of its optimization for nitrogen ions acceleration are described. Comparison of the simulation results with the experimental dates was done. uk_UA
dc.description.abstract Работа посвящена исследованию системы постускорения ионов азота, использованной в прикладном источнике реактивных ионов. Проведены численные расчёты геометрии электродов для получения ускоренных ионов азота. Проводится оптимизация систем ускорения-формирования источника ионов реактивных газов для использования в установке прикладного назначения. Проведено сравнение результатов расчёта с экспериментальными данными. uk_UA
dc.description.abstract Робота присвячена дослідженням системи постприскорення іонів азоту, що використана в прикладному джерелі реактивних іонів. Проведені обчислення геометрії електродів для отримання прискорених іонів азоту. Проводиться оптимізація системи прискорення-формування джерела іонів реактивних газів для використання в установці прикладного призначення. Проведено порівняння результатів обчислення з експериментальними даними. uk_UA
dc.language.iso en uk_UA
dc.publisher Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України uk_UA
dc.relation.ispartof Вопросы атомной науки и техники
dc.subject Низкотемпературная плазма и плазменные технологии uk_UA
dc.title The forming system simulation for reactive gas ion source with decreased neutral gas inleakage uk_UA
dc.title.alternative Численное моделирование системы формирования источника реактивных ионов с малым натеканием газа uk_UA
dc.title.alternative Чисельне моделювання системи формування джерела реактивних іонів зі зниженим натіканням газу uk_UA
dc.type Article uk_UA
dc.status published earlier uk_UA


Файли у цій статті

Ця стаття з'являється у наступних колекціях

Показати простий запис статті

Пошук


Розширений пошук

Перегляд

Мій обліковий запис