Наукова електронна бібліотека
періодичних видань НАН України

Using ellipsometry methods for depth analyzing the optical disc data layer relief structures

Репозиторій DSpace/Manakin

Показати простий запис статті

dc.contributor.author Kravets, V.G.
dc.contributor.author Gorbov, I.V.
dc.date.accessioned 2017-05-30T17:02:34Z
dc.date.available 2017-05-30T17:02:34Z
dc.date.issued 2008
dc.identifier.citation Using ellipsometry methods for depth analyzing the optical disc data layer relief structures / V.G. Kravets, I.V. Gorbov // Semiconductor Physics Quantum Electronics & Optoelectronics. — 2008. — Т. 11, № 1. — С. 11-15. — Бібліогр.: 8 назв. — англ. uk_UA
dc.identifier.issn 1560-8034
dc.identifier.other PACS 42.79.Vb
dc.identifier.uri http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/118596
dc.description.abstract We studied the relief depth of the data layer formed in a glass disk by ion beam etching process with using classical ellipsometry at the constant wavelength 632.8 nm for different angles of incidence. It was found that for 0° and 90° azimuth angles, a pair of ellipsometric parameters Ψ and ∆ is sufficient to characterize the changes in light reflection for various structure depths. The depth of optical disc data layer relief structures was estimated via experimental dependences of ellipsometric parameters. The estimated data layer depths were found to be in good agreement with independent tunnelling electron microscopy measurements. uk_UA
dc.language.iso en uk_UA
dc.publisher Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України uk_UA
dc.relation.ispartof Semiconductor Physics Quantum Electronics & Optoelectronics
dc.title Using ellipsometry methods for depth analyzing the optical disc data layer relief structures uk_UA
dc.type Article uk_UA
dc.status published earlier uk_UA


Файли у цій статті

Ця стаття з'являється у наступних колекціях

Показати простий запис статті

Пошук


Розширений пошук

Перегляд

Мій обліковий запис