Показати простий запис статті

dc.contributor.author Goloborodko, N.S.
dc.contributor.author Grygoruk, V.I.
dc.contributor.author Kurashov, V.N.
dc.contributor.author Podanchuk, D.V.
dc.contributor.author Goloborodko, A.A.
dc.contributor.author Kotov, M.M.
dc.date.accessioned 2017-05-26T15:26:03Z
dc.date.available 2017-05-26T15:26:03Z
dc.date.issued 2010
dc.identifier.citation Determination of surface defects by using the wavefront scanner / N.S. Goloborodko, V.I. Grygoruk, V.N. Kurashov, D.V. Podanchuk, A.A. Goloborodko, M.M. Kotov // Semiconductor Physics Quantum Electronics & Optoelectronics. — 2010. — Т. 13, № 1. — С. 65-69. — Бібліогр.: 10 назв. — англ. uk_UA
dc.identifier.issn 1560-8034
dc.identifier.other PACS 42.15.Dp, 42.25.Bs, 42.30.Kq, 42.87.-d
dc.identifier.uri http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/117744
dc.description.abstract The possibility of changes in the polarization state of the laser beam reflected from inhomogeneity with the refractive index gradient is theoretically shown, which allows separating the phase shifts related with relief inhomogeneities and local changes of the surface refractive index. Modification of the wavefront scanner for analyzing the wavefront of the laser beam reflected from the samples’ surface is considered. The main idea of the method is to use the focused laser beams with different polarizations for illuminating separate areas of the surface. The results of detecting test surfaces with different structures by the wavefront scanner are presented. uk_UA
dc.language.iso en uk_UA
dc.publisher Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України uk_UA
dc.relation.ispartof Semiconductor Physics Quantum Electronics & Optoelectronics
dc.title Determination of surface defects by using the wavefront scanner uk_UA
dc.type Article uk_UA
dc.status published earlier uk_UA


Файли у цій статті

Ця стаття з'являється у наступних колекціях

Показати простий запис статті

Пошук


Розширений пошук

Перегляд

Мій обліковий запис