Сканирующий ионный гелиевый микроскоп

Abstract

Описан опыт использования сканирующего гелиевого микроскопа ORION (Carl Zeiss) в исследованиях, проводимых в Междисциплинарном Ресурсном Центре по направлению «нанотехнологии» (Санкт-Петербург, Россия). Затронуты вопросы о формировании и стабильности гелиевого одноатомного источника, о процессах взаимодействия ионов гелия с исследуемым веществом; описаны возможности применения ионной гелиевой микроскопии и литографии.

Описано досвід використання скануючого гелієвого мікроскопа ORION (Carl Zeiss) в дослідженнях, що проводяться в Міждисциплінарному Ресурсному Центрі за напрямком «нанотехнології» (С-Петербург, Росія). Порушені питання про формування та стабільність гелієвого одноатомного джерела, про процеси взаємодії іонів гелію з досліджуваною речовиною; описані можливості застосування іонної гелієвої мікроскопії та літографії.

This article describes the experience of using helium microscope ORION (Carl Zeiss) at the Interdisciplinary Resource Center of «Nanotechnology» (St.Petersburg, Russia). Author discusses the formation and stability of helium single atom source, the processes of interaction of helium ions with the investigated substance, describes the possibility of applying helium ion microscopy and lithography.