Формирование структуры Al₂O₃ с использованием удаляемых в процессе конденсации добавок In и NaCl

Abstract

Исследованы возможности модификации толстых конденсатов оксида алюминия, полученных электронно-лучевым осаждением в вакууме. Рассмотрен технологический прием формирования оксида алюминия в парах удаляемых с поверхности конденсации добавок. Показано, что температура подложки и тип неорганических добавок, вводимых в паровой поток оксида алюминия в процессе осаждения, оказывают активное влияние на структуру межфазной поверхности, форму и размеры структурных элементов, формирование макро- и микропористой структуры конденсатов. Представлены характерные микроструктуры. Установлены наиболее эффективные добавки, позволяющие варьировать размер, форму и ориентацию микро- и наноразмерных структурных составляющих конденсатов оксида алюминия.

The feasibilities of modifying of thick aluminum oxide condensates, produced by electron beam condensation in vacuum, were investigated. Technological procedure of formation of aluminium oxide in vapors of additions, removed from the condensation surface, was considered It is shown that the temperature of substrate and type of inorganic additions, introduced into a vapor flow of aluminium oxide in the process deposition, have an active effect on structure of interface, shape and sizes of structural elements, formation of macro- and microporous structure of condensates. Typical microstructures are presented. The most effective additions are found, which makes it possible to vary the size, shape and orientation of micro- and nanodimentional structural components of aluminium oxide condensates.