Роль межузельных атомов кремния в конфигурационной перестройке дивакансий в кластерах дефектов

Abstract

Описано поведение подвижности электронов при их диффузном движении в высокоомном кремнии, вы- ращенном методом бестигельной зонной плавки (Fz) и методом Чохральского (Cz), после облучения быст- рыми нейтронами реактора и последующего отжига при комнатной температуре. В рамках уточненной мо- дели кластеров дефектов рассчитана температурная зависимость концентрации электронов в образцах крем- ния. Определены энергетические уровни радиационных дефектов в проводящей матрице n-Si. Обоснована роль межузельных атомов кремния в гистерезисе температурной зависимости подвижности электронов и их участие в конфигурационной перестройке дивакансий в кластерах дефектов.

Описано поведінку рухливості електронів при їх дифузному русі в високоомному кремнії, який вироще- но методом безтигельного зонного плавлення (Fz) і методом Чохральського (Cz), після опромінення швид- кими нейтронами реактора і наступного відпалу при кімнатній температурі. У рамках уточненої моделі кла- стерів дефектів розрахована температурна залежність концентрації електронів у зразках n-Si. Визначено енергетичні рівні радіаційних дефектів у провідній матриці кремнію. Обґрунтовано роль міжвузлових атомів кремнію в гістерезисі температурної залежності рухливості електронів і їх участь у конфігураційній перебу- дові дивакансій в кластерах дефектів.

The behavior of the mobility of electrons as they diffuse movement in the high-resistivity silicon, grown by floating zone melting (Fz) and Czochralski (Cz), after irradiation with fast neutrons reactor and subsequent annealing at room temperature was described. As part of the revised model of defect clusters was calculated temperature dependence of the electrons density in the conductive matrix of silicon samples n-type. The energy levels of radiation defects in n-Si defined. It is substantiates the role of interstitial silicon atoms in the hysteresis of the temperature dependence of the electron mobility and their participation in the restructuring of the configuration divacancy defects in clusters.