Стельмах, Я.А.; Крушинская, Л.А.
(Современная электрометаллургия, 2015)
Исследованы возможности модификации толстых конденсатов оксида алюминия, полученных электронно-лучевым осаждением в вакууме. Рассмотрен технологический прием формирования оксида алюминия в парах удаляемых с поверхности ...