Influence of component content of Ar/O₂ mixture on oxygen dissociation degree in plasma of low pressure discharge with hollow cathode

Abstract

Influence of argon content in Ar/O₂ mixture on O₂ dissociation degree and atomic oxygen concentration in the plasma of low pressure glow discharge with hollow cathode is determined experimentally and theoretically. It is found that atomic oxygen concentration dependence on argon content in the mixture exhibits non-monotonous behavior with a minimum at Ar/(Ar+O₂) ≈ 50%. Results of calculation and experiment are in a good agreement.

Експериментально та теоретично встановлено вплив вмісту аргону в суміші Ar/O₂ на ступінь дисоціації O₂ та концентрацію атомарного кисню в плазмі жевріючого розряду низького тиску з порожнистим катодом. Встановлено, що залежність концентрації атомарного кисню від вмісту аргону в суміші має немонотонний характер з мінімумом при Ar/(Ar+O₂) ~50%. Результати розрахунку та експерименту достатньо гарно узгоджуються.

Экспериментально и теоретически установлено влияние содержания аргона в смеси Ar/O₂ на степень диссоциации O₂ и концентрацию атомарного кислорода в плазме тлеющего разряда низкого давления с полым катодом. Установлено, что зависимость концентрации атомарного кислорода от содержания аргона в смеси носит немонотонный характер с минимумом при Ar/(Ar+O₂) ~50%. Результаты расчета и эксперимента находятся в хорошем согласии.