Количественные оценки массового расхода распыляемого и разделяемого вещества в импульсном отражательном разряде

Abstract

На основе экспериментальных данных проведены количественные оценки массового расхода катодного вещества, поступающего в разряд за счет механизма распыления рабочих поверхностей катодов под действием ионных потоков предварительно созданной газовой плазмы в импульсном отражательном разряде со скрещенными E × B-полями. Произведена также оценка массового количества рабочего вещества многокомпонентной плазмы, образуемой в разряде, выносимого поперек удерживающего магнитного поля и конденсируемого на приемных пластинах, находящихся при комнатной температуре. Полученные данные позволяют сделать вывод о направленном выделении тяжелой компоненты плазмы в результате центробежных эффектов.

На основі експериментальних даних проведено кількісні оцінки масових витрат катодної речовини, яка поступає в розряд за рахунок розпорошення робочих поверхонь катодів під дією іонних потоків створеної газової плазми в імпульсному відбивному розряді зі схрещеними E × B-полями. Проведена також оцінка масової кількості робочої речовини багатокомпонентної плазми, що створюється в розряді, яка виноситься поперек утримуючого магнітного поля і конденсується на приймальних пластинах, які знаходяться при кімнатній температурі. Одержані дані дозволяють зробити висновок відносно спрямованого виділення важкої компоненти плазми за рахунок відцентрових ефектів.

Based on experimental data, qualitative evaluation was made on the mass rate of a cathode material entering into the discharge by the mechanism of work cathode surface sputtering under the action of ion fluxes of pre-formed gas plasma in the pulsed reflex discharge with crossed E × B-fields. The mass quantity of a working material in the discharge-formed multicomponent plasma, coming out across the confining magnetic field and being condensed on the receiving plates at room temperature has been evaluated. The data obtained enable to draw a conclusion about directed separation of a heavy plasma component due to the centrifugal effects.