Технологический источник плазмы с комбинированной системой возбуждения вакуумно-дугового разряда

Abstract

Описаны конструкция и принцип работы источника эрозионной плазмы с трехступенчатой системой возбуждения вакуумно-дугового разряда. В качестве двух первых ступеней используется применяемая в штатных источниках плазмы установок «Булат» видоизмененная бесконтактная система запуска с плазменным инжектором, работа третьей ступени запуска основана на переходе тлеющего разряда в дуговой. Согласованная работа ступеней запуска на различных этапах формирования покрытий обеспечивает существенное повышение ресурса и надежности системы инициирования вакуумно-дугового разряда и расширяет функциональные возможности источника плазмы.

Описано конструкцію та принцип роботи джерела ерозійної плазми з триступінчатою системою збудження вакуумно-дугового розряду. В якості двох перших ступенів використовується застосовувана в штатних джерелах плазми установок «Булат» видозмінена безконтактна система запуску з плазмовим інжектором, робота третього ступеня запуску заснована на переході тліючого розряду в дуговий. Узгоджена робота ступенів запуску на різних етапах формування покриттів забезпечує істотне підвищення ресурсу та надійності системи ініціювання вакуумно-дугового розряду і розширює функціональні можливості джерела плазми.

The construction and the operation principle of erosion plasma source with a three-stage system of vacuum-arc discharge excitation is described. As first two step was used the modified contactless start system with plasma injector, which was widely used in standard plasma sources of the “Bulat” systems. The operation principle of the third stage was based on the transition of glow discharge to arc discharge. Coordinated operation of three stages during various stages of coating deposition provided significant increasing of service life and reliability of the system of vacuum-arc discharge initiation and extended the functionality of the plasma source.