Наукова електронна бібліотека
періодичних видань НАН України

Исследование микротопографии поверхности плёнок Al₂O₃, полученных методом магнетронного распыления при низком давлении

Репозиторій DSpace/Manakin

Показати простий запис статті

dc.contributor.author Тесленко-Пономаренко, В.В.
dc.date.accessioned 2017-01-09T17:40:54Z
dc.date.available 2017-01-09T17:40:54Z
dc.date.issued 2003
dc.identifier.citation Исследование микротопографии поверхности плёнок Al₂O₃, полученных методом магнетронного распыления при низком давлении / В.В. Тесленко-Пономаренко // Вопросы атомной науки и техники. — 2003. — № 5. — С. 175-178. — Бібліогр.: 5 назв. — рос. uk_UA
dc.identifier.issn 1562-6016
dc.identifier.uri http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/111372
dc.description.abstract Методом магнетронного распыления Al при давлении в камере ~10⁻² Па получены плёнки Al₂O₃. Определены структура, пористость, микротвёрдость, микротопография поверхности плёнок для ряда режимов их нанесения. Получены квазиаморфные плёнки с микротвёрдостью 13...15 ГПа. Установлено наличие на поверхности плёнок локальных неоднородностей, обусловленных микропробоями на мишени, которые возникают во время осаждения плёнок. uk_UA
dc.description.abstract Методом магнетронного розпилення Al при тиску в камері ~ 10⁻² Па отримані плівки Al₂O₃. Визначено структуру, пористість, мікротвердість, мікротопографія поверхні плівок для ряду режимів їхнього нанесення. Отримані квазіаморфні плівки з мікротвердістю 13...15 ГПа. Установлено наявність на поверхні плівок локальних неоднорідностей, обумовлених мікропробоями на мішені, що виникають під час осадження плівок. uk_UA
dc.description.abstract The films Al₂O₃ were obtained with the help of the method of magnetron sputtering of Al under pressure in the chamber ~10⁻² Pa. The structure, porosity, microhardness, microtopography of the surface of films were determined for the number of regimes of the deposition. Quasiamorphous films with microhardness 13...15 GPa were obtained. The presence of local non-uniformities on the surface was determined. These non-uniformities are conditioned by the microarcs on the target which appear during film deposition. uk_UA
dc.description.sponsorship Автор выражает благодарность А.В. Зыкову за предложенную тему и помощь в проведении экспериментов, Ларсу Бойрману (ФРГ) за помощь в проведении измерений микротопографии поверхности плёнок, В.Г. Маринину за поддержку работы и полезные советы при её оформлении. uk_UA
dc.language.iso ru uk_UA
dc.publisher Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України uk_UA
dc.relation.ispartof Вопросы атомной науки и техники
dc.subject Работы молодых ученых института физики твердого тела, материаловедения и технологий ННЦ ХФТИ uk_UA
dc.title Исследование микротопографии поверхности плёнок Al₂O₃, полученных методом магнетронного распыления при низком давлении uk_UA
dc.title.alternative Дослідження мікротопографії поверхні плівок Al₂O₃, отриманих методом магнетронного розпилення при низькому тиску uk_UA
dc.title.alternative The research of microtopography of surfaces of Al₂O₃ films obtained by the method of magnetron sputtering under low pressure uk_UA
dc.type Article uk_UA
dc.status published earlier uk_UA
dc.identifier.udc 539.23: 681.723.7


Файли у цій статті

Ця стаття з'являється у наступних колекціях

Показати простий запис статті

Пошук


Розширений пошук

Перегляд

Мій обліковий запис