Кинетика пиролиза летучих соединений металлов при нанесении покрытий в вакууме

Домашня сторінка
→
Фізико-технічні та математичні науки
→
Відділення ядерної фізики та енергетики
→
Вопросы атомной науки и техники
→
Bопросы атомной науки и техники, 2011
→
Вопросы атомной науки и техники, 2011, № 2
→
Переглянути статтю

dc.contributor.author	Поляков, Ю.И.
dc.contributor.author	Картмазов, Г.Н.
dc.contributor.author	Лукирский, Ю.В.
dc.contributor.author	Руденький, С.Г.
dc.contributor.author	Ферлий, Л.А.
dc.date.accessioned	2017-01-09T14:31:29Z
dc.date.available	2017-01-09T14:31:29Z
dc.date.issued	2011
dc.identifier.citation	Кинетика пиролиза летучих соединений металлов при нанесении покрытий в вакууме / Ю.И. Поляков, Г.Н. Картмазов, Ю.В. Лукирский, С.Г. Руденький, Л.А. Ферлий // Вопросы атомной науки и техники. — 2011. — № 2. — С. 163-167. — Бібліогр.: 10 назв. — рос.	uk_UA
dc.identifier.issn	1562-6016
dc.identifier.uri	http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/111304
dc.description.abstract	С позиций равновесной термодинамики оценены некоторые закономерности процессов получения покрытий путем осаждения металлов из их летучих соединений в вакууме. Расчетные значения энергии активации химических реакций находятся в согласии с известными из экспериментов.	uk_UA
dc.description.abstract	З позицій рівноважної термодинаміки оцінено деякі закономірності процесів отримання покриття шляхом осадження металів з їх летких сполук у вакуумі. Розрахункові значення енергії активації хімічних реакцій знаходяться в згоді з відомими з експериментів.	uk_UA
dc.description.abstract	From the standpoint of equilibrium thermodynamics to assess some of the processes obtaining coatings by deposition of metals from their volatile compounds in a vacuum. In particular, the calculated activation energies for chemical reactions are in agreement with the known from the experiments.	uk_UA
dc.language.iso	ru	uk_UA
dc.publisher	Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України	uk_UA
dc.relation.ispartof	Вопросы атомной науки и техники
dc.subject	Физика радиационных и ионно-плазменных технологий	uk_UA
dc.title	Кинетика пиролиза летучих соединений металлов при нанесении покрытий в вакууме	uk_UA
dc.title.alternative	Кінетика піролізу летких сполук металів при нанесенні покриттів у вакуумі	uk_UA
dc.title.alternative	Pyrolysis metal volatile compounds kinetics at application in vacuum	uk_UA
dc.type	Article	uk_UA
dc.status	published earlier	uk_UA
dc.identifier.udc	621.793.16