Наукова електронна бібліотека
періодичних видань НАН України

Кинетика пиролиза летучих соединений металлов при нанесении покрытий в вакууме

Репозиторій DSpace/Manakin

Показати простий запис статті

dc.contributor.author Поляков, Ю.И.
dc.contributor.author Картмазов, Г.Н.
dc.contributor.author Лукирский, Ю.В.
dc.contributor.author Руденький, С.Г.
dc.contributor.author Ферлий, Л.А.
dc.date.accessioned 2017-01-09T14:31:29Z
dc.date.available 2017-01-09T14:31:29Z
dc.date.issued 2011
dc.identifier.citation Кинетика пиролиза летучих соединений металлов при нанесении покрытий в вакууме / Ю.И. Поляков, Г.Н. Картмазов, Ю.В. Лукирский, С.Г. Руденький, Л.А. Ферлий // Вопросы атомной науки и техники. — 2011. — № 2. — С. 163-167. — Бібліогр.: 10 назв. — рос. uk_UA
dc.identifier.issn 1562-6016
dc.identifier.uri http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/111304
dc.description.abstract С позиций равновесной термодинамики оценены некоторые закономерности процессов получения покрытий путем осаждения металлов из их летучих соединений в вакууме. Расчетные значения энергии активации химических реакций находятся в согласии с известными из экспериментов. uk_UA
dc.description.abstract З позицій рівноважної термодинаміки оцінено деякі закономірності процесів отримання покриття шляхом осадження металів з їх летких сполук у вакуумі. Розрахункові значення енергії активації хімічних реакцій знаходяться в згоді з відомими з експериментів. uk_UA
dc.description.abstract From the standpoint of equilibrium thermodynamics to assess some of the processes obtaining coatings by deposition of metals from their volatile compounds in a vacuum. In particular, the calculated activation energies for chemical reactions are in agreement with the known from the experiments. uk_UA
dc.language.iso ru uk_UA
dc.publisher Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України uk_UA
dc.relation.ispartof Вопросы атомной науки и техники
dc.subject Физика радиационных и ионно-плазменных технологий uk_UA
dc.title Кинетика пиролиза летучих соединений металлов при нанесении покрытий в вакууме uk_UA
dc.title.alternative Кінетика піролізу летких сполук металів при нанесенні покриттів у вакуумі uk_UA
dc.title.alternative Pyrolysis metal volatile compounds kinetics at application in vacuum uk_UA
dc.type Article uk_UA
dc.status published earlier uk_UA
dc.identifier.udc 621.793.16


Файли у цій статті

Ця стаття з'являється у наступних колекціях

Показати простий запис статті

Пошук


Розширений пошук

Перегляд

Мій обліковий запис