The investigation of the optical spectra in process of magnetron deposition

Домашня сторінка
→
Фізико-технічні та математичні науки
→
Відділення ядерної фізики та енергетики
→
Вопросы атомной науки и техники
→
Bопросы атомной науки и техники, 2008
→
Вопросы атомной науки и техники, 2008, № 6
→
Переглянути статтю

dc.contributor.author	Demchishin, A.V.
dc.contributor.author	Evsyukov, A.N.
dc.contributor.author	Goncharov, A.A.
dc.contributor.author	Kostin, E.G.
dc.date.accessioned	2017-01-07T18:43:13Z
dc.date.available	2017-01-07T18:43:13Z
dc.date.issued	2008
dc.identifier.citation	The investigation of the optical spectra in process of magnetron deposition / A.V. Demchishin, A.N. Evsyukov, A.A. Goncharov, E.G. Kostin // Вопросы атомной науки и техники. — 2008. — № 6. — С. 195-197. — Бібліогр.: 6 назв. — англ.	uk_UA
dc.identifier.issn	1562-6016
dc.identifier.other	PACS: 52.25.Xz, 52.27.Cm, 52.70.Kz, 52.75.-d, 85.40.Sz
dc.identifier.uri	http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/111035
dc.description.abstract	We describe the state-of-the-art method of monitoring optical parameters the cylindrical gas discharge plasma of magnetron type. An analysis and characterization of the spectrum during a process of titanium nitride deposition is carried out. The optimum conditions of titanium nitride synthesis on substrates are determined. A characterization of deposited TiN films is made.	uk_UA
dc.description.abstract	Запропонований новий метод контролю оптичних параметрів плазми циліндричного газового розряду магнетронного типу в дійсному масштабі часу. Проведений аналіз та характеризація спектру в процесі напилення нітриду титана. Знайдені оптимальні умови отримання плівок нітриду титана. Виконано їх рентгенофазовий аналіз та виміряна мікротвердість.	uk_UA
dc.description.abstract	Предложен новый метод контроля оптических параметров плазмы цилиндрического газового разряда магнетронного типа в реальном масштабе времени. Проведен анализ и характеризация спектра в процессе напыления нитрида титана. Найдены оптимальные условия получения пленок нитрида титана. Выполнен их рентгенофазовый анализ и измерена микротвердость.	uk_UA
dc.description.sponsorship	This work is supported by the grant 93/08-H	uk_UA
dc.language.iso	en	uk_UA
dc.publisher	Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України	uk_UA
dc.relation.ispartof	Вопросы атомной науки и техники
dc.subject	Low temperature plasma and plasma technologies	uk_UA
dc.title	The investigation of the optical spectra in process of magnetron deposition	uk_UA
dc.title.alternative	Дослідження оптичних спектрів в процесі магнетронного напилення	uk_UA
dc.title.alternative	Исследование оптических спектров в процессе магнетронного напыления	uk_UA
dc.type	Article	uk_UA
dc.status	published earlier	uk_UA