Получение и исследование состава нераспыляемого геттера на основе сплава циркония, ванадия и железа

Abstract

Разработана технология получения нераспыляемого геттерного материала и исследованы его свойства. Методом дуговой плавки в среде очищенного аргона изготовлен сплав из компонентов предварительно очищенных металлов Zr, V, Fe и Nb для использования его в качестве нераспыляемого геттера (NEG). Для достижения однородности химического состава сплав подвергался двойному переплаву. Для нанесения тонкого слоя сплава на подложку использовался вакуумно-плазменный метод формирования покрытий (метод КИБ), разработанный в ННЦ ХФТИ [1]. Исследована структура и микротвердость покрытия, его химический состав методами спектрометрии обратного резерфордовского рассеяния протонов и ионов гелия и спектрометрии рентгеновского характеристического излучения, возбуждаемого протонами[2]. Исследовался сплав, содержащий основные элементы 74,25 Zr, 19,4 V, 4,86 Fe и 1,49 мас. % Nb.

Розроблено технологію здобуття нерозпилюючого гетерного матеріалу та дослідження його властивостей. Методом дугової плавки в середовищі очищеного аргону виготовлено сплав з компонентів попередньо очищених металів Zr, V, Fe і Nb для використання його в якості нерозпилюючого гетера (NEG). Для досягнення однорідності хімічного складу сплав піддавався подвійному переплаву. Для нанесення тонкого шару сплаву на підкладку використовувався вакуумно-плазмений метод формування покрить (метод КІБ), розробленний у ННЦ ХФТІ [1]. Досліджено структуру і мікротвердість покриття, хімічний його склад методами спектрометрії зворотнього резерфордовського розсіювання протонів та іонів гелію і спектрометрії рентгенівського характеристичного випромінювання, порушуваного протонами [2]. Досліджувався сплав, який містить основні елементи 74,25 Zr, 19,4 V, 4,86 Fe та 1,49 мас.%. Nb.

The technology of production not evaporated getter material is developed and its properties are investigated. The method arc meltiness in cleared Ar makes an alloy of components previously of cleared metals Zr, V, Fe and Nb for use it as not evaporated getter (NEG). For achievement of uniformity of chemical structure the alloy was exposed double meltiness. For deposition a thin layer of an alloy on a substrate the vacuum-plasma method of formation of coverings was used, developed in NSC KIPT [1]. The structure and microhardness of a covering is investigated, its chemical structure by methods retherford back scattering protons and ions gelium and specroscopy of x-ray characteristic radiation raised by protons [2]. The alloy containing basic elements (of % of weights) 74,25 Zr, 19,4 V, 4,86 Fe and 1,49 Nb was investigated.