Преобразование фазовой плотности пучка ионов в нелинейных зондоформирующих системах

Abstract

Рассмотрено преобразование различных типов распределений фазовой плотности пучка ионов нелинейными квадрупольными зондоформирующими системами. Распределения фазовой плотности задавались многочастичным приближением (~10⁷). Нелинейности, вызванные аберрациями зондоформирующих систем, учитывались до 3-го порядка включительно. На примере трех зондоформирующих систем показано, что нелинейный характер преобразования фазовых координат из плоскости объекта на плоскость мишени приводит к образованию ярко выраженного пика распределения плотности пучка.

Розглянуто перетворення різних типів розподілів фазової густини пучка іонів нелінійними квадрупольними зондоформуючими системами. Розподіли фазової густини задавалися багатокількісним наближенням (~10⁷). Нелінійності, що викликані абераціями зондоформуючих систем, враховувались до 3-го порядку включно. На прикладі трьох зондоформуючих систем показано, що нелінійний характер перетворення фазових координат з площини об’єкта на площину мішені призводить до утворення яскраво визначеного піка розподілу густини пучка.

Transformation of the different types of the ion beam phase density distribution by non-linear quadrupole probeforming systems was considered. Phase density distributions were specified by multiparticle approximation (~10⁷). Nonlinearities caused by probeforming system aberrations were taken into account to the third order inclusive. Using three probe forming systems was showed that non-linear character of the phase coordinates transformation from the object to the target plane leads to the pronounced peak of the beam density distribution.