Плазмодинамические особенности цилиндрических газовых разрядов магнетронного типа

Abstract

Представлены результаты комплексного теоретического и экспериментального исследования цилиндрических газовых разрядов в конфигурации скрещенных электрических и магнитных полей, присущих аксиально-симметричной плазменной линзе. Предложено и испытано оригинальное цилиндрическое распылительное устройство, основанное на принципах плазмооптики. На базе экспериментальных данных сформулировано новое системное видение плазмодинамики газовых разрядов магнетронного типа. Новый подход предусматривает наличие трёх квазиавтономных областей в разряде, в которых токоперенос осуществляется различными частицами.

Представлено результати комплексного теоретичного та експериментального дослідження циліндричних газових розрядів у конфігурації схрещених електричних та магнітних полів, притаманних аксиально-симетричній плазмовій лінзі. Запропоновано та випробувано оригінальний циліндричний розпилюючий пристрій, побудований на принципах плазмооптики. На базі експериментальних даних сформульовано нове системне бачення плазмодинаміки газових розрядів магнетронного типу. Новий підхід передбачає наявність трьох квазіавтономних областей у розряді, в яких струмопереніс здійснюється різними частинками.

The results of the complex theoretical and experimental investigations of the cylindrical gas discharge are presented. The configuration of the ExH fields of this discharge is similar to axial plasma lens. Original cylindrical sputtering system based on plasmaoptical principals is proposed and tested. Based on experimental data it was stated a new system view of the magnetron-type gas discharge plasmadynamic. New approach provide for the presence of three quasiautonomous regions in discharge where current is given by different particles movements.