Погребняк, А.Д.; Гончаров, А.А.
(Металлофизика и новейшие технологии, 2016)
Проведён сравнительный анализ структуры и свойств покрытий на основе тугоплавких соединений в зависимости от условий осаждения (температуры и потенциала подложки, парциального давления рабочего газа). Выявлены общие ...