Показати простий запис статті
dc.contributor.author |
Bizyukov, I. |
|
dc.contributor.author |
Mutzke, A. |
|
dc.contributor.author |
Schneider, R. |
|
dc.date.accessioned |
2016-11-20T21:40:13Z |
|
dc.date.available |
2016-11-20T21:40:13Z |
|
dc.date.issued |
2012 |
|
dc.identifier.citation |
Effect of increasing surface roughness on sputtering and reflection / I. Bizyukov, A. Mutzke, R. Schneider // Вопросы атомной науки и техники. — 2012. — № 6. — С. 111-113. — Бібліогр.: 6 назв. — англ. |
uk_UA |
dc.identifier.issn |
1562-6016 |
|
dc.identifier.other |
PACS: 79.20 Rf |
|
dc.identifier.uri |
http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/109143 |
|
dc.description.abstract |
In this work, the SDTrimSP-2D code was used for numerical simulation of the interaction of ions with a 2D periodical structure as idealized test system to investigate the influence of surface roughness on sputtering. Sputtering yield and reflection coefficient have been studied as a function of the size of the pitch grating structure. Simulations show that the most important changes in ion-surface interactions occur when the structure size gets approximately equal to the size of the collisional cascade.. |
uk_UA |
dc.description.abstract |
Код SDTrimSP-2D использовался для моделирования взаимодействия ионов с двухмерной поверхностью, которая взята в качестве идеализированной тестовой системы для исследования влияния шероховатости. Коэффициенты распыления и отражения изучались как функции характерного размера структуры дифракционной решетки. Моделирование показало, что наиболее важные изменения во взаимодействии ионов с поверхностью происходят тогда, когда размер структуры приблизительно равен размеру столкновительного каскада. |
uk_UA |
dc.description.abstract |
Код SDTrimSP-2D використовувався для моделювання взаємодії іонів з двомірною поверхнею, яка обрана у якості ідеалізованої тестової системи для дослідження впливу шорсткості. Коефіцієнти розпилення і відбиття вивчалися як функціі характерного розміру структури дифракційної решітки. Моделювання показало, що найбільш важливі зміни у взаємодії іонів з поверхнею відбуваються тоді, коли розмір структури приблизно дорівнює розміру каскаду зіткнень. |
uk_UA |
dc.language.iso |
en |
uk_UA |
dc.publisher |
Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України |
uk_UA |
dc.relation.ispartof |
Вопросы атомной науки и техники |
|
dc.subject |
Динамика плазмы и взаимодействие плазмы со стенкой |
uk_UA |
dc.title |
Effect of increasing surface roughness on sputtering and reflection |
uk_UA |
dc.title.alternative |
Влияние шероховатости поверхности на распыление и отражение |
uk_UA |
dc.title.alternative |
Вплив шорсткості поверхні на розпилення та відбиття |
uk_UA |
dc.type |
Article |
uk_UA |
dc.status |
published earlier |
uk_UA |
Файли у цій статті
Ця стаття з'являється у наступних колекціях
Показати простий запис статті