Наукова електронна бібліотека
періодичних видань НАН України

Effect of increasing surface roughness on sputtering and reflection

Репозиторій DSpace/Manakin

Показати простий запис статті

dc.contributor.author Bizyukov, I.
dc.contributor.author Mutzke, A.
dc.contributor.author Schneider, R.
dc.date.accessioned 2016-11-20T21:40:13Z
dc.date.available 2016-11-20T21:40:13Z
dc.date.issued 2012
dc.identifier.citation Effect of increasing surface roughness on sputtering and reflection / I. Bizyukov, A. Mutzke, R. Schneider // Вопросы атомной науки и техники. — 2012. — № 6. — С. 111-113. — Бібліогр.: 6 назв. — англ. uk_UA
dc.identifier.issn 1562-6016
dc.identifier.other PACS: 79.20 Rf
dc.identifier.uri http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/109143
dc.description.abstract In this work, the SDTrimSP-2D code was used for numerical simulation of the interaction of ions with a 2D periodical structure as idealized test system to investigate the influence of surface roughness on sputtering. Sputtering yield and reflection coefficient have been studied as a function of the size of the pitch grating structure. Simulations show that the most important changes in ion-surface interactions occur when the structure size gets approximately equal to the size of the collisional cascade.. uk_UA
dc.description.abstract Код SDTrimSP-2D использовался для моделирования взаимодействия ионов с двухмерной поверхностью, которая взята в качестве идеализированной тестовой системы для исследования влияния шероховатости. Коэффициенты распыления и отражения изучались как функции характерного размера структуры дифракционной решетки. Моделирование показало, что наиболее важные изменения во взаимодействии ионов с поверхностью происходят тогда, когда размер структуры приблизительно равен размеру столкновительного каскада. uk_UA
dc.description.abstract Код SDTrimSP-2D використовувався для моделювання взаємодії іонів з двомірною поверхнею, яка обрана у якості ідеалізованої тестової системи для дослідження впливу шорсткості. Коефіцієнти розпилення і відбиття вивчалися як функціі характерного розміру структури дифракційної решітки. Моделювання показало, що найбільш важливі зміни у взаємодії іонів з поверхнею відбуваються тоді, коли розмір структури приблизно дорівнює розміру каскаду зіткнень. uk_UA
dc.language.iso en uk_UA
dc.publisher Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України uk_UA
dc.relation.ispartof Вопросы атомной науки и техники
dc.subject Динамика плазмы и взаимодействие плазмы со стенкой uk_UA
dc.title Effect of increasing surface roughness on sputtering and reflection uk_UA
dc.title.alternative Влияние шероховатости поверхности на распыление и отражение uk_UA
dc.title.alternative Вплив шорсткості поверхні на розпилення та відбиття uk_UA
dc.type Article uk_UA
dc.status published earlier uk_UA


Файли у цій статті

Ця стаття з'являється у наступних колекціях

Показати простий запис статті

Пошук


Розширений пошук

Перегляд

Мій обліковий запис