Богорош, О.Т.; Воронов, С.О.; Шматко, І.О.; Шматко, О.А.
(Металлофизика и новейшие технологии, 2013)
Методами атомової силової мікроскопії та трансмісійної електронної мікроскопії, залежно від типу вихідної структури та фізико-хемічного впливу під час зростання, в леґованих фосфором полікристалічних кремнійових плівках ...