Шоффа, В.Н.; Коваленко, Е.А.
(Электрические контакты и электроды, 2014)
Представлен обзор принципов коммутации, конструкций, используемых материалов, результатов исследований и разработок высокочастотных микроэлектромеханических переключателей с электростатическим управлением, представляющих ...