Simulating study of plasmachemical erosion of  a-C:H films in a ECR discharge plasma

Домашня сторінка
→
Фізико-технічні та математичні науки
→
Відділення ядерної фізики та енергетики
→
Вопросы атомной науки и техники
→
Bопросы атомной науки и техники, 2011
→
Вопросы атомной науки и техники, 2011, № 1
→
Переглянути статтю

Simulating study of plasmachemical erosion of a-C:H films in a ECR discharge plasma

Konovalov, V.G. ; Makhov, M.N. ; Ryzhkov, I.V. ; Shapoval, A.N. ; Shtan’, A.F. ; Skorik, O.A. ; Solodovchenko, S.I. ; Timoshenko, A.I. ; Voitsenya, V.S.

Інші назви: Імітаційні дослідження плазмохімічної ерозії a-C:H плівки в плазмі ЕЦР-розряду
Имитационные исследования плазмохимической эрозии a-C:H плёнки в плазме ЭЦР-разряда

Тема: Низкотемпературная плазма и плазменные технологии

Інший ID: PACS: 52.50.Sw

URI: http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/90955

Посилання: Simulating study of plasmachemical erosion of a-C:H films in a ECR discharge plasma / V.G. Konovalov, M.N. Makhov, I.V. Ryzhkov, A.N. Shapoval, A.F. Shtan’, O.A. Skorik, S.I. Solodovchenko, A.I. Timoshenko, V.S. Voitsenya // Вопросы атомной науки и техники. — 2011. — № 1. — С. 146-148. — Бібліогр.: 5 назв. — англ.

Дата: 2011

Завантажень: 402

Simulating study of plasmachemical erosion of a-C:H films in a ECR discharge plasma

Анотація:

The dynamics of interference figure of the reflection spectrum for stainless steel and copper mirrors with specially deposited carbon-containing film (ɚ-C:H) were studied when the film was gradually eroded under impact of a deuterium plasma produced in conditions of electron cyclotron resonance (ECR). The refraction coefficient of the film was estimated and the rate of the film removal was obtained.

Досліджувалася динаміка інтерференційної картини спектру віддзеркалення сталевих і мідних дзеркал з штучно нанесеною вуглецьвмісною плівкою (a-C:H) по мірі розпилювання в дейтерієвій плазмі ЕЦР-розряду. Проведена оцінка коефіцієнта заломлення плівки. Отримана кількісна оцінка швидкості розпилювання.

Исследовалась динамика интерференционной картины спектра отражения стальных и медных зеркал с искусственно нанесенной углеродсодержащей пленкой (a-C:H) по мере распыления в дейтериевой плазме ЭЦР-разряда. Проведена оценка коэффициента преломления пленки. Получена количественная оценка скорости распыления.

Показати повний запис статті