Устройства финишной очистки технологических газов на основе нераспыляемых геттеров из сплавов Zr-Al, Zr-Fe, Hf-Fe

Abstract

Описаны устройства глубокой финишной очистки технологических газов Ar, He, Ne, H₂, N₂. Предложены геттерные материалы, используемые для этих целей. Приведены результаты масс-спектрометрических исследований состава газов по поглощаемым газам.

Описані пристрої глибокого фінішного очищення технологічних газів Ar, He, Ne, H₂, N₂. Запропоновані гетерні матеріали, що використовуються для цієї мети. Приведені результати мас-спектрометричних досліджень складу газів по газах, що поглинаються.

Means of deep final purification of technological gases Ar, He, Ne, H₂, N₂ are described. Getter materials that are used for this purpose are proposed. The results of mass-spectrometric researches of gases composition on absorbent gases are given.