Наноструктурные сверхтвёрдые nc-TiN/а-Si₃N₄ покрытия, полученные методом вакуумно-дугового осаждения

Abstract

Показано, что в определенных условиях вакуумно-дугового осаждения покрытий на основе сплавов титана с 6… 10 вес.% Si в атмосфере азота формируются сверхтвердые покрытия nc-TiN/a-Si₃N₄ (50…60 ГПа). В отличие от аналогичных покрытий, получаемых методами CVD и PVD (магнетрон), такие покрытия имеют микро- и нанослойную структуру. Стойкость обрабатывающего инструмента с такими покрытиями превышает стойкость стандартных покрытий TiN в 2-3 раза в сравнимых условиях испытаний.

Показано, що в певних умовах вакуумно-дугового осадження покриттів на основі сплавів титану з 6...10 ваг. % Si в атмосфері азоту, формуються надтверді покриття nc-Ti/a-Si₃N₄ (50...60 ГПа). На відміну від аналогічних покриттів, одержуваних методами CVD й PVD (магнетрон), такі покриття мають мікронанослойну структуру. Стійкість обробного інструмента з такими покриттями перевищує стійкість стандартних покриттів Ti в 2-3 рази в порівнянних умовах випробувань.

It is Shown possibility of reception superhard nc-TiN/a-Si₃N₄ coatings by vacuum-arc deposition method with use the alloys Ti with 6…10 weight % Si. Changes of the phase composition, structured condition, microhardnest and others studied depending on pressures of nitrogen at condensations. Flaky structure of coating is installed. The brought results of comparative test has checked against nc-TiN/a-Si₃N₄ coating. Their supremacy is shown in contrast with TiN coating.