The influence of a DC electric field on the radio-frequency microdischarge

Домашня сторінка
→
Фізико-технічні та математичні науки
→
Відділення ядерної фізики та енергетики
→
Вопросы атомной науки и техники
→
Bопросы атомной науки и техники, 2005
→
Вопросы атомной науки и техники, 2005, № 2
→
Переглянути статтю

The influence of a DC electric field on the radio-frequency microdischarge

Інші назви: Вплив постійного електричного поля на високочастотний мікророзряд
Ияние постоянного электрического поля на высокочастотный микроразряд

Тема: Low temperature plasma and plasma technologies

Інший ID: PACS: 52.80.P

URI: http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/79798

Посилання: The influence of a DC electric field on the radio-frequency microdischarge / N.A. Bogatov // Вопросы атомной науки и техники. — 2005. — № 2. — С. 191-193. — Бібліогр.: 5 назв. — англ.

Дата: 2005

Завантажень: 294

The influence of a DC electric field on the radio-frequency microdischarge

Анотація:

The dependence of ionization frequency in a stationary radio-frequency microdischarge on plasma density and DC voltage applied to the discharge plasma is found. Calculation is fulfilled for a plane geometry in assumption of uniformity of radio-frequency electric field.

Розрахована залежність частоти іонізації в стаціонарному високочастотному мікророзряді від концентрації плазми і постійної напруги, прикладеної до плазми розряду. Розрахунок виконаний для плоскої геометрії в припущенні однорідності високочастотного поля.

Рассчитана зависимость частоты ионизации в стационарном высокочастотном микроразряде от концентрации плазмы и постоянного напряжения, приложенного к плазме разряда. Расчет выполнен для плоской геометрии в предположении однородности высокочастотного поля.

Показати повний запис статті