Plasma devices for ion beam and plasma deposition applications

Домашня сторінка
→
Фізико-технічні та математичні науки
→
Відділення ядерної фізики та енергетики
→
Вопросы атомной науки и техники
→
Bопросы атомной науки и техники, 2005
→
Вопросы атомной науки и техники, 2005, № 1
→
Переглянути статтю

Plasma devices for ion beam and plasma deposition applications

Goncharov, A. ; Demchishin, A. ; Dobrovolskiy, A. ; Kostin, E. ; Panchenko, O. ; Pavlov, C. ; Protsenko, I. ; Stetsenko, B. ; Ternovoy, E. ; Brown, I. G.

Інші назви: Плазмові прилади для використання з іонними пучками та плазмового осадження
Плазменные приборы для манипулирования ионными пучками и плазменного осаждения

Тема: Low temperature plasma and plasma technologies

Інший ID: PACS: 52.50.Dg , 52.77.Dq, 52.77.Bn

URI: http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/79058

Посилання: Plasma devices for ion beam and plasma deposition applications / A. Goncharov, A. Demchishin, A. Dobrovolskiy, E. Kostin, O. Panchenko, C. Pavlov, I. Protsenko, B. Stetsenko, E. Ternovoy, I. G. Brown // Вопросы атомной науки и техники. — 2005. — № 1. — С.169-171. — Бібліогр.: 6 назв. — англ.

Підтримка: This works was supported by STCU #1596 and in part by STCU project #118(K).

Дата: 2005

Завантажень: 427

Plasma devices for ion beam and plasma deposition applications

Анотація:

We describe the operation of some new axially-symmetric plasma devices based on plasma-optical principles and the plasma lens configuration. Plasma devices of this kind using permanent magnets can be applied in a number of different applications for ion treatment and materials synthesis.

Описуються деякі нові плазмові прилади, основані на використанні принципів плазмооптики та конфігурації плазмової лінзи. Прилади такого типу, що використовують постійні магніти, можуть застосовуватись для іонної обробки та отримання нових матеріалів.

Описываются некоторые новые плазменные приборы, основанные на принципах плазмооптики и конфигурации плазменной линзы. Приборы такого типа, в которых используются постоянные магниты, могут применяться для ионной обработки и получения новых материалов.

Показати повний запис статті