Наукова електронна бібліотека
періодичних видань НАН України
періодичних видань НАН України
Особенности автоматизации диодных реакторных систем микротравления
Репозиторій DSpace/Manakin
JavaScript is disabled for your browser. Some features of this site may not work without it.
Особенности автоматизации диодных реакторных систем микротравления
Тема:
Новое технологическое оборудование для микроэлектроники
УДК:
539.23
Посилання:
Особенности автоматизации диодных реакторных систем микротравления / А.М. Будянский, В.И. Фареник, А.П. Яцков // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 2001. — № 6. — С. 48-51. — Бібліогр.: 12 назв. — рос.
Дата:
2001
Переглядів:
806
Завантажень:
418
Анотація:
Проведено изучение природы скачков интенсивности ВЧ-разряда, возникающих в цепи автоматических согласующих устройств генераторов при эксплуатации ВЧ газоразрядных систем. Показано, что наличие или отсутствие скачков в системе полностью определяется формой зависимости собственной емкости плазмы от приложенного к разряду ВЧ-напряжения. Показаны пути создания алгоритма настройки системы, исключающего возникновение скачков.
