Наукова електронна бібліотека
періодичних видань НАН України
періодичних видань НАН України
Решение задачи газового демпфирования чувствительных элементов микроэлектронных акселерометров
Репозиторій DSpace/Manakin
JavaScript is disabled for your browser. Some features of this site may not work without it.
Решение задачи газового демпфирования чувствительных элементов микроэлектронных акселерометров
Тема:
Сенсоэлектроника
УДК:
531.767
Посилання:
Решение задачи газового демпфирования чувствительных элементов микроэлектронных акселерометров / Н.Г. Черняк, О.В. Стеценко // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 2001. — № 6. — С. 43-46. — Бібліогр.: 5 назв. — рос.
Дата:
2001
Переглядів:
754
Завантажень:
735
Анотація:
Проведен аналитический расчет коэффициентов газового демпфирования колебаний планарного чувствительного элемента (ЧЭ) измерителя углового ускорения и получены геометрические параметры ЧЭ, обеспечивающие требуемые характеристики. Полученные результаты могут быть использованы при решении задач расчета параметров газового демпфирования планарных ЧЭ различных датчиков физических величин.
