Наукова електронна бібліотека
періодичних видань НАН України
періодичних видань НАН України
Малоинерционный линейный термопреобразователь сопротивления
Репозиторій DSpace/Manakin
JavaScript is disabled for your browser. Some features of this site may not work without it.
Малоинерционный линейный термопреобразователь сопротивления
Тема:
Технология производства
УДК:
621.793.184:621.3.049.76
Посилання:
Малоинерционный линейный термопреобразователь сопротивления / В.В. Брайловский, О.Е. Иларионов // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 2001. — № 2. — С. 47-48. — Бібліогр.: 4 назв. — рос.
Дата:
2001
Переглядів:
770
Завантажень:
468
Анотація:
Предложена тонкопленочная технология миниатюризации объемных медных термопреобразователей сопротивления. Термочувствительный слой формировался на жесткой подложке. Формирование бифилярной структуры осуществлялось с использованием процессов фотолитографии. Механическая прочность слоев и их временная стабильность обеспечивалась использованием адгезионного и трехслойного защитного слоя. Напыление адгезионного и защитного слоев Ti–W осуществлялось в едином технологическом цикле.
