Датчики ускорений на базе микромеханики и микроэлектроники

Abstract

Описаны современные датчики ускорений (акселерометры), использующие новейшие принципы конструирования микромеханических и микроэлектронных приборов. Рассмотрены промышленные образцы датчиков, выпускаемых фирмой Analog Devices, приведены их параметры и даны рекомендации по их применению. Наряду с описанием датчиков, рассмотрены силы, действующие на них, и измеряемые ускорения.