Наукова електронна бібліотека
періодичних видань НАН України
періодичних видань НАН України
Косвенный лазерный нагрев поликристаллического кремния для получения активных элементов микросхем
Репозиторій DSpace/Manakin
JavaScript is disabled for your browser. Some features of this site may not work without it.
Косвенный лазерный нагрев поликристаллического кремния для получения активных элементов микросхем
Тема:
Технология производства
УДК:
621.382.002
Посилання:
Косвенный лазерный нагрев поликристаллического кремния для получения активных элементов микросхем / З.А. Искендер-заде, Ф.Д. Касимов, С.А. Исмайлова // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 2002. — № 4-5. — С. 40-42. — Бібліогр.: 12 назв. — рос.
Дата:
2002
Переглядів:
746
Завантажень:
388
Анотація:
Показано, что с помощью лазерной рекристаллизации пленок поликристаллического кремния удается получить высококачественные монокристаллические слои, что позволяет изготавливать в них элементы функциональных микросхем, в частности, датчики Холла.
