Наукова електронна бібліотека
періодичних видань НАН України
періодичних видань НАН України
Оптический датчик температуры на основе нанокристаллической пленки SiC
Репозиторій DSpace/Manakin
JavaScript is disabled for your browser. Some features of this site may not work without it.
Оптический датчик температуры на основе нанокристаллической пленки SiC
Інші назви:
Оптичний датчик температури на основі нанокристаліч¬ної плівки SiC
Optical temperature sensor based on the nanocrystalline silicon carbide film
Optical temperature sensor based on the nanocrystalline silicon carbide film
Тема:
Сенсоэлектроника
Посилання:
Оптический датчик температуры на основе нанокристаллической пленки SiC / А.В. Лопин, А.В. Семёнов, В.М. Пузиков // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 2007. — № 4. — С. 19-22. — Бібліогр.: 8 назв. — рос.
Дата:
2007
Переглядів:
817
Завантажень:
1027
Анотація:
На основе нанокристаллических пленок кубического политипа карбида кремния, полученных прямым ионным осаждением на подложке из лейкосапфира, разработан интерференционный датчик температуры.
