Наукова електронна бібліотека
періодичних видань НАН України
періодичних видань НАН України
Получение полуизолирующего кремния для высоковольтных приборов
Репозиторій DSpace/Manakin
JavaScript is disabled for your browser. Some features of this site may not work without it.
Получение полуизолирующего кремния для высоковольтных приборов
Інші назви:
Отримання напівізолюючого кремнію для високовольтних приладів
Growing of semiinsulating Si tor high-voltage devices
Growing of semiinsulating Si tor high-voltage devices
Тема:
Технологические процессы и оборудование
Посилання:
Получение полуизолирующего кремния для высоковольтных приборов / А.С. Турцевич // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 2008. — № 1. — С. 35-41. — Бібліогр.: 23 назв. — рос.
Дата:
2008
Переглядів:
887
Завантажень:
1152
Анотація:
Исследовано влияние условий осаждения на структуру и электрофизические свойства пленок поликристаллического кремния, легированного кислородом. Результаты использованы при изготовлении изделий силовой электроники.
