Перестраиваемая линия задержки сигнала СВЧ-диапазона на основе сегнето­электрических и алмазных пленок

Abstract

Рассмотрен принцип создания широкополосной миниатюрной линии задержки сигнала СВЧ-диапазона на основе сегнетоэлектрических и алмазных пленок. Разработана технология получения пленок на кремниевых подложках.

Розглянуто принцип створення широкосмугової мініатюрної лінії затримки сигналу СВЧ-діапазону на базі сегнетоелектричних та алмазних плівок. Розроблено технології нанесення та наведено параметри отриманих сегнетоелектричних та алмазних плівок. Показано можливу конструкцію лінії затримки у вигляді мікросмужкової лінії передачі СВЧ-сигналу з зосередженими планарними конденсаторами змінної ємності.

The article describes the principles of creation of a broadband miniature SHF-range signal delay line based on ferroelectrics and diamond films. The parameters of obtained ferroelectrics and diamond films have been given. The possible design of the delay line, executed as a micro strip transfer line of SHF-range signal with the concentrated planar variable capacity condensers is shown.