Рассмотрены аналитические методы, используемые для решения задач оптического тонкопленочного и наноструктурного материаловедения. Рассмотрены примеры применения наиболее распространенных и информативных методов анализа. Для наиболее часто используемых методов приведены основные артефакты анализа и методы их устранения или учета при анализе результатов.
Розглянуто аналітичні методи, що використовуються для вирішення задач оптичного тонкоплівкового та наноструктурного матеріалознавства. Розглянуто приклади застосування найбільш розповсюджених й інформативних методів аналізу. Для методів, що найбільш часто використовуються, наведено основні артефакти аналізу та методи їхнього усунення або врахування при аналізі результатів.
The analytical methods used for solving tasks of optical thin-film and nanostructure materials science are considered. Examples of application of the most widespread and informative methods of the analysis are given. For the most frequently used methods the basic artifacts of the analysis and methods of their elimination or the account at the analysis of results are presented.